Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)
Synonym
- Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie
Definition
- Die Rutherford Backscattering Spectrometry ist eine Methode zur
Untersuchung von oberflächennahen dünnen Schichten mit Hilfe von
Ionenstrahlen.
Bemerkungen
- Die RBS ermöglicht eine Untersuchungstiefe von bis zu etwa 1 µm. Dabei
liefert sie auch Informationen über die nach der Zusammensetzung der Probe
bis in diese Tiefe.
- Für eine Messung wird die Probe mit einem stark gebündelten Ionenstrahl
beschossen. Dabei werden die eingestrahlten Ionen unter bestimmten Winkeln
zurückgestreut. Die Energien dieser "backscattered" Ionen werden
detektiert und ausgewertet.
- Der verwendete Ionenstrahl besteht z.B. aus Protonen mit Energien von
einigen 100 keV .
- Bekannt ist vor allem der Goldfolien-Versuch von Ernest Rutherford, durch
den er zur Entwicklung seines Atommodells angeregt wurde.
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