Everhart-Thornley-Detektor
Definition
- Ein nach seinen Erfindern T. Everhart und R.F.M. Thornley benannter
Detektor insbesondere für
Rückstreuelektronen in der
Elektronenmikroskopie.
Bemerkungen
- Everhart-Thornley-Detektoren sind seit den 1950er Jahren verfügbar und
stellen noch immer den verbreitetsten Detektortyp für
Rasterelektronenmikroskope dar.
- Sie basieren auf dem Szintillatorprinzip:
- Hochenergetische Elektronen (ca. 10 - 15 keV) lösen Photonen aus, die
nachfolgend mittels Photomultipliern verstärkt und detektiert werden.
- Aufgrund der hohen zur Auslösung des Photoeffektes benötigten
Energien werden zumeist nur die höher energetischen Rückstreuelektronen
detektiert, während Sekundärelektronen nicht erfasst werden.
- Die Empfindlichkeit des Detektors lässt sich durch das Anlegen einer
positiven Ladung an den Faradayschen Käfig, in dem sich der Detektor
befindet, erhöhen.
- Bei entsprechend hohen positiven Spannungen lassen sich so auch
Sekundärelektronen detektieren, da diese nun durch das starke
positive Feld beschleunigt werden und nun energiereich genug zur
Detektion sind.
- Diese Empfindlichkeitserhöhung kann allerdings nur im
Hochvakuum-Modus des Rasterelektronenmikroskope verwendet werden, da
sie ansonsten zu einer Ionisation der Restatmosphäre in der
Probenkammer führen würde.
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